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回轉工作臺的驅動方式

  來源:www.cobbtree.com
  在半導體專用設備制造過程中,工作臺往往需要實現一定度數范圍內的旋轉、定位從而滿足加工工藝的要求。因此,實現工作臺可靠、平穩旋轉,精準落位,是半導體專用設備制造關鍵技術。在現代化的生產設備中,傳統的工作臺驅動方式是通過電機減速器直接作用于軸系,帶動工作臺旋轉,這種裝置在實際應用中存在一定的不足,運轉不平穩,震動大,噪音大,由于轉動慣量不匹配,導致工作臺落位時難以停穩,定位精度不能滿足工藝需求,從而大大降低了設備可靠性。
  在近幾年的機械工業創新發展機床行業。在原有的回轉工作臺基礎上,把普通絲桿較換成滾珠絲杠,在鑄鐵的導軌面上鑲嵌直線導軌。把變速箱電機較換成伺服電機。
  1、氣壓驅動:氣壓驅動具有,系統結構簡單,維修方便等特點,適用于中小負載的系統中。難于實現伺服控制,多用于程序控制的滑臺機械手,在上下料和沖壓設備中應用較多。
  2、電動驅動:隨著低慣量、直流伺服電機及配套的伺服驅動器的廣泛應用,這種驅動系統被大量選用,在很大范圍內發生作用。
  3、液壓驅動:液壓驅動具有動力大,慣量大,響應,易于實現直接驅動等特點,適用于承載能量大,環境中工作的滑臺機械手。
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